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主要针对高浓度vocs废气的初步处理，常用于溶剂回收，例如从真空泵排气、干燥排气中回收溶剂。冷凝法处理后的废气vocs含量仍然-，甚至可以达到10000mg/l以上，需要后续处理。吸附法处理效果好，可以把废气中vocs浓度降低到10ppm以下，但是吸附剂再生问题需要解决，单床不再生的吸附方法逐渐被-使用。多床交替再生或转轮连续吸附解析工艺逐渐得到广泛应用。

热氧化是的去除vocs的办法，适用于浓度、没有回收价值的废气处理。低浓度、-量废气直接焚烧成本很，需要先浓缩。热氧化技术包括直接焚烧(to)、蓄热焚烧(rto)、催化燃烧(rco)，其中蓄热燃烧技术的应用广泛。目前从事蓄热式燃烧装置主要产品包括两室和三室rto，对于多蓄热室旋转换向的rto 的开发尚处于研究阶段，国产的低阻蓄热能力陶瓷体的性能和国外公司相比，如美国lantec.productsinc和koch knight llc公司的产品还有较大的差距。催化燃烧(rco)焚烧温度低，辅助燃料用量少，但适用条件要求，效果不稳定，适用较少。

理论上，催化燃烧设备可达99%上述净化率。但在催化燃烧设备的选择上，如果催化剂选择不合理，催化剂温度低，气流分布不合理或短路。vocs净化率下降。这不是催化剂，而是设备本身。如果催化燃烧设备的净化率只有95%，那么3000mg/m3浓度的vocs有机废气在催化燃烧反应后无法达到标准，因此应增加设备，以处理催化燃烧设备剩余的5%。